等离子体清洗


概述

  • 射频等离子体清洁器，减少在真空室的碳氢化合物污染。
  • 显著提高电子显微镜成像和分析性能。
  • 也可用于清洁EUV和x射线光学以及SEM和TEM样品的原位解决方案。
  • 可安装在大多数真空室和电子显微镜上。
  • 可提供机架式或桌面配置的控制器。

应用程序

  • 高真空室的碳氢化合物去除
  • 清洁sem和fib以获得更好的成像效果
  • 提高分辨率对比度和扫描时间
  • 达到原始真空条件
  • 为无人工制品成像准备标本

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E50系列

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25型等离子体清洁器ZEPHYR系列

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型号20EP™e系列

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撤离tron Softclean™系统- Softclean EP

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