集成动力工程(IDE)

IDE

的集成动力工程(IDE)集团是世界领先的研发和制造环境控制的主动和被动振动隔离，EMI主动补偿，声学隔离研究，计量，光刻和医疗系统;以及用于晶圆和掩模处理的精密运动控制和机器人，工具平台和EFEMs，半导体oem的SEM。从独特的主动和被动隔振系统开始，IDE扩展了其产品阵列，包括仪器仪表和计量领域中最苛刻的行业的一系列解决方案。