薄膜

薄膜

溅射沉积是一种标准的技术，通过在带电气体离子轰击下溅射远离目标原子，将薄膜沉积到衬底上。在半导体工业中，溅射被广泛用于沉积集成电路加工中各种材料的薄膜。