牛津Ultim®极端EDS检测器

Ultim极硅漂移探测器是超高分辨率FEG-SEM应用的突破性解决方案，提供传统的微纳米分析解决方案。Ultim Extreme是Ultim的一个无窗100 mm2版本，旨在最大限度地提高灵敏度和空间分辨率。它采用了一个基本的几何结构，以优化超高分辨率feg - sem中的成像和EDS性能，同时工作在低kV和短工作距离下。使用Ultim Extreme, EDS分辨率接近SEM。